CELLE SOLARI
Acceleratore ionico: Dispositivo simile a un piccolo acceleratore di particelle che ha lo scopo di bombardare con ioni di fosforo ad alta velocità la superficie di silicio della cella fv. Tale procedimento (definito anche con il termine sputtering) consente, rispetto al normale processo di diffusione in forno, una più accurata valutazione della profondità di penetrazione degli ioni sulla superficie del silicio e una più omogenea costituzione dello strato -n sulla superficie del wafer.
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